特許

J-GLOBAL ID：200903005077752428

プラスチック材料からなるワークピースを金属層により被覆する方法および装置

発明者： グレゴール シュトラーサー ,  マイケル ヘネシー
出願人/特許権者： バルツェルス アクチェンゲゼルシャフト ,  プロデューサーズ カラー サービス,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065136
公開番号（公開出願番号）：特開平7-003449
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 減圧容器内において陰極スパッタ法を用いてプラスチック材料を金属層により被覆するプロセスを、金属層の良好な接着性および環境安定性を確保しつつ、経済的に改良する。【構成】 本発明によれば、減圧容器(2)内において金属層の主成分を強磁場スパッタしてプラスチック材料からなるワークピース(4)を金属層により被覆する方法において、スパッタをアルゴンと炭素含有ガスとの混合ガス雰囲気中において行うと共にスパッタをワークピース(4)を金属層により被覆する時間のうち少なくとも大部分の時間の間行うようにする段階を含む方法が提供される。

請求項（抜粋）：

減圧容器内において金属層の主成分を強磁場スパッタしてプラスチック材料からなるワークピースを該金属層により被覆する方法において、上記スパッタをアルゴンと炭素含有ガスとの混合ガス雰囲気中において行うと共に該スパッタを上記ワークピースを金属層により被覆する時間のうち少なくとも大部分の時間の間行うようにする段階を含む方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/20 ,  C23C 14/35 ,  G11B 7/26