シンチレータパネルおよび平面検出器

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：樺澤襄 , 樺澤聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-062542
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240306
出願日： 2006年03月08日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】画像分解能が高く、解像度特性を向上できるシンチレータパネル11を提供する。【解決手段】ガラス基板12上にシンチレータ層15を形成し、シンチレータ層15を防湿層21で覆う。シンチレータ層15は、ガラス基板12の表面から柱状に成長された柱状結晶16を有する。柱状結晶16は、面方向に光学的に不連続でその充填率を70〜85%とする第1の部分19と、第1の部分19の表面側で面方向に連続して覆う第2の部分20とを一体に形成する。柱状結晶16の第1の部分19の充填率により、画像分解能が向上する。柱状結晶16の第2の部分20を一体形成により、防湿層21が柱状結晶16間に浸透するのを防止し、柱状結晶16間が光学的に接触しにくくし、画像分解能の低下を防止する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板と、この支持基板の表面から柱状に成長された面方向に光学的に不連続である第1の部分とこの第1の部分の表面側を面方向に連続して覆う第2の部分とが一体に形成された柱状結晶を有し、この柱状結晶の第1の部分の充填率が70〜85%であるシンチレータ層と、このシンチレータ層の表面に形成された防湿層とを具備していることを特徴とするシンチレータパネル。

IPC (5件)：

G21K 4/00 , G01T 1/20 , G01T 1/00 , H01L 31/09 , H01L 27/14

FI (8件)：

G21K4/00 A , G01T1/20 K , G01T1/20 B , G01T1/20 G , G01T1/20 E , G01T1/00 B , H01L31/00 A , H01L27/14 K

Fターム (33件)：

2G083AA04 , 2G083AA08 , 2G083BB01 , 2G083CC01 , 2G083CC02 , 2G083DD11 , 2G083DD16 , 2G083EE02 , 2G083EE03 , 2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG16 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ10 , 2G088JJ37 , 4M118AB01 , 4M118CB11 , 4M118HA02 , 4M118HA11 , 4M118HA23 , 4M118HA24 , 4M118HA40 , 5F088AA01 , 5F088BA07 , 5F088BA11 , 5F088BB07 , 5F088GA02 , 5F088HA15 , 5F088HA20 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

放射線シンチレータならびに画像検出器およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-262017 出願人：株式会社東芝

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