特許
J-GLOBAL ID：200903005084646129
拡がり振動型圧電振動子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-340261
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186467
出願日： 1994年12月29日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 拡がり振動型圧電振動子において、共振振動の機械的品質係数Qmを向上させると共に、1〜10MHzの共振周波数に設定可能として支持梁の機械的強度を向上させる。【構成】 圧電振動子1をシリコン材料からなる枠体2と、枠体2に対抗する支持梁3,3を介して支持された振動部4とから構成する。振動部4はシリコン材料からなり支持辺6A,6Aと開放辺6B,6Bを有する振動板6と、振動板6上に設けられた圧電薄膜7と、圧電薄膜7の上,下に設けられた上側電極9,下側電極10とから構成する。また、振動板6(振動部4)を正方形状に形成し、一辺の長さ寸法の所定寸法に設定すれば、共振周波数を1〜10MHzに設定できる。
請求項（抜粋）：
半導体により形成された基板部と、該基板部から互いに対向して延びるように該基板部と一体的に形成された一対の支持梁と、該各支持梁間で支持された振動部とを備え、該振動部は、各支持梁と一体に形成された振動板と、該振動板上に設けられた圧電薄膜と、該圧電薄膜上に着膜形成された上側電極と、前記振動板上に位置して前記圧電薄膜の下側に着膜形成された下側電極とから構成してなる拡がり振動型圧電振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H03H 9/02
