特許

J-GLOBAL ID：200903005089102356

基板孔明け機のワークテーブル駆動装置

発明者： 桶谷 哲也 ,  布目 興 ,  西垣 芳浩
出願人/特許権者： 豊和工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011762
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198750
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ワークテーブルの変形を小さくし、基板の加工精度を高めることができる基板孔明け機のワークテーブル駆動装置を提供する。【解決手段】 固定ベッド1上でワークテーブル16をX軸方向に移動可能とする複数の送りネジ軸15を夫々ワークテーブルのY軸方向幅を等分割した各分割領域の幅方向中心位置に配設する。これら各送りねじ軸に夫々別にX軸モータ17を連結する。各送りねじ軸から、各送りねじ軸が設けられた夫々の分割領域の端までの距離が短くなり、ワークテーブルのX軸方向加減速時の変形が小さくなり、基板Wを高精度に加工できる。

請求項（抜粋）：

Y軸方向に並設された複数の加工主軸をZ軸、Y軸方向に移動させ、加工主軸の下方でワークテーブルをX軸方向に移動させてワークテーブル上の複数の基板を同時に穿孔加工する基板孔明け機において、ワークテーブルのY軸方向幅を等分割した各分割幅の略幅中心位置に夫々X軸方向の送りねじ軸を配置し、各送りねじ軸をワークテーブル側の送りナットと夫々螺合し、各送りねじ軸に対応して夫々別の送りモータを連結したことを特徴とする基板孔明け機のワークテーブル駆動装置。

IPC (2件)：

B23Q 1/25 ,  B23Q 5/40

FI (2件)：

B23Q 5/40 C ,  B23Q 1/14 B

Fターム (3件)：

3C048BC02 ,  3C048DD01 ,  3C048EE06