特許

J-GLOBAL ID：200903005091517466

揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置

発明者： 秋山 貴弘 ,  加藤 貴久 ,  虎島 和敏 ,  宮川 卓 ,  藤井 一成 ,  渡辺 信一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-259727
公開番号（公開出願番号）：特開2009-086590
出願日： 2007年10月03日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、 前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、 前記揺動体は、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されていることを特徴とする揺動体装置。

IPC (5件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113 ,  G03G 15/04

FI (6件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z ,  G03G15/04

Fターム (58件)：

2H045AB06 ,  2H045AB08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045DA02 ,  2H076AB02 ,  2H076AB13 ,  2H076AB16 ,  2H076AB81 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC04 ,  2H141MC06 ,  2H141MC09 ,  2H141MD12 ,  2H141MD13 ,  2H141MD15 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD40 ,  2H141ME01 ,  2H141ME25 ,  2H141MF12 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ30 ,  3C081AA13 ,  3C081BA21 ,  3C081BA28 ,  3C081BA43 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081BA54 ,  3C081BA55 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11 ,  5C072AA03 ,  5C072BA02 ,  5C072BA04 ,  5C072DA02 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB06 ,  5C072HB15 ,  5C072XA01 ,  5C072XA05 ,  5C072XA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 静電容量型MEMSアクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-135131   出願人：住友精密工業株式会社
• 光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-273671   出願人：株式会社リコー