特許
J-GLOBAL ID：200903005097282959
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254819
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086375
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 気流の影響を排して、高速度で基板を搬送することを可能にする。【構成】 基板Wがハウジング131内に収納された状態で搬送される。ハウジング131の外形断面はほぼ矩形であって、その各角部が曲線形状であるとともに、その側方には、上部がハウジング131上面より突出し、下面がハウジング131下面の角部に回り込むように形成された整流板135が配設される。【効果】 基板がハウジング内に収納されて搬送されるので、外部の気流の影響を受けず、高速搬送が可能になる。また、整流板の作用により上方からの気流が円滑にハウジング側方に導かれ、確実にガイドされてハウジング下方角部の曲線に沿って円滑に排出されるため、気流の回り込みが生じにくい。これによりパーティクルの再浮上を防止して、効率よく高品質の基板を処理できる。
請求項（抜粋）：
基板処理部に基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板が載置される基板載置手段と、前記基板処理部方向に進出した第1の位置と、前記基板処理部から後退した第2の位置との間で前記基板載置手段を移動させる駆動手段と、前記第2の位置において、前記基板載置手段および前記基板を収納するハウジングと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
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