特許
J-GLOBAL ID:200903005103235739

レーザ露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-328222
公開番号(公開出願番号):特開平10-166643
出願日: 1996年12月09日
公開日(公表日): 1998年06月23日
要約:
【要約】【課題】 感光材料をレーザ光により露光するレーザ露光装置において、干渉縞の影響のない良好な画像を得る。【解決手段】 シングル縦モード半導体レーザチップ1から感光材料に向けて出射されたレーザ光L0 をレンズ2によって平行光化してビームスプリッタ3に入射せしめ、ビームスプリッタ3によってレーザ光L0 を、走査系のポリゴンミラーに入射する光Lとミラー5に入射する光La とに分岐し、分岐されミラー5に入射せしめらされた光La をミラー5によって反射せしめ、ビームスプリッタ3およびレンズ2を経た光La'をレーザチップ1に戻す。これにより、レーザチップ1から複数の波長のレーザ光を発振させ、これらの複数の波長のレーザ光により感光材料を露光するようにして、感光材料の支持体内での反射に起因する干渉縞の発生を抑える。
請求項(抜粋):
シングル縦モードレーザ光を一出射端面から記録媒体に向けて発振する半導体レーザチップと、該チップと前記記録媒体との間に設けられ、前記出射端面から出射されたレーザ光の一部を該出射端面に戻す戻し光手段とを備え、該戻し光手段により前記出射端面に戻されたレーザ光により、前記チップに複数の波長のレーザ光を発振させ、これら複数の波長のレーザ光により前記記録媒体を露光することを特徴とするレーザ露光装置。
IPC (3件):
B41J 2/44 ,  H01S 3/18 ,  H04N 1/23 103
FI (3件):
B41J 3/00 D ,  H01S 3/18 ,  H04N 1/23 103 Z

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