特許

J-GLOBAL ID：200903005107309940

弾性表面波素子の周波数調整方法および弾性表面波素子の電極パターン

発明者： 北村 文孝
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-082190
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164287
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 弾性表面波素子を陽極酸化し周波数を調整する場合、周波数調整量に応じてインピーダンスが増加してしまうのを抑える手段を提供する。【構成】 櫛歯状電極15と反射器電極16を有する基板上に形成された弾性表面波素子が共通電極18で接続されている。櫛歯電極15と反射器電極16を陽極酸化後、共通電極18と櫛歯状電極15が接続される電極を除去し、もう一度陽極酸化することにより櫛歯状電極15と反射器電極16の陽極酸化量を変える。

請求項（抜粋）：

弾性表面波を励振する櫛歯状電極と弾性表面波を反射させる反射器電極を有する弾性表面波素子で、該櫛歯状電極と反射器電極を陽極酸化することにより周波数を調整する場合において、該櫛歯状電極と反射器電極の陽極酸化量を変えることにより周波数調整する事を特徴とする弾性表面波素子の周波数調整方法。