特許
J-GLOBAL ID:200903005114922398

三次元形状測定装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 堀田 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-047298
公開番号(公開出願番号):特開2004-257803
出願日: 2003年02月25日
公開日(公表日): 2004年09月16日
要約:
【課題】不定型な被測定物の三次元形状を非接触で計測でき、多重反射が生じやすいマージンライン近傍においても多重反射の影響を除去して高い測定精度を維持できる三次元形状測定装置および方法を提供する。【解決手段】保持回転装置12、第1光位置検出素子14、第2光位置検出素子16、レーザ装置18、演算装置20、及び選択手段22を備え、被測定物Mの多重反射領域を所定の座標領域に位置決めし、被測定物に向けてレーザ光1を照射し、第1と第2の光位置検出素子による受光位置から被測定物の2つのレーザ光照射位置P1、P2をそれぞれ演算し、所定の座標領域における演算した2つのレーザ光照射位置P1、P2のうち原点に近いものを選択する。また、所定の座標領域外において、信号出力が大きい方に基づくレーザ光照射位置P1、P2を選択する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
平坦部(M3)と立壁部(M2)が交差する多重反射領域を有する被測定物(M)の表面形状を非接触で測定する三次元形状測定装置であって、 被測定物(M)の内部を原点とし原点を通る垂直軸を中心に被測定物を回転させ前記多重反射領域を所定の座標領域に位置決めする保持回転装置(12)と、前記平坦部に対向し平坦部からの反射光を強く受ける第1の光位置検出素子(14)と、前記立壁部に対向し立壁部からの反射光を強く受ける第2の光位置検出素子(16)と、前記第1と第2の光位置検出素子の間に位置し被測定物に向けてレーザ光(1)を走査するレーザ装置(18)と、レーザ光の走査方向と該レーザ光の反射光の前記第1と第2の光位置検出素子による受光位置から被測定物の2つのレーザ光照射位置(P1、P2)をそれぞれ演算する演算装置(20)と、前記所定の座標領域における前記2つのレーザ光照射位置(P1、P2)のうち原点に近いものを選択する選択手段(22)と、を備えたことを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件):
G01B11/24 ,  A61C19/04
FI (2件):
G01B11/24 A ,  A61C19/04 Z
Fターム (20件):
2F065AA19 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL13 ,  2F065MM04 ,  2F065MM16 ,  2F065PP13 ,  2F065UU02 ,  4C052AA20 ,  4C052NN02 ,  4C052NN03 ,  4C052NN04 ,  4C052NN15

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