特許

J-GLOBAL ID：200903005119279167

チップ状回路部品の外部電極形成用マスク治具

発明者： 福山 淳一 ,  久保田 格
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361421
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204100
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 スパッタリングにより高い精度で能率的にチップ状の素体の両端に外部電極を形成する。【構成】 チップ状の素体4は、その中間部41が両側のマスク板1、3の中間部支持溝12、32に両側から挟持されると共に、それらの溝面で覆われる。中間部支持溝12、32に保持された素体4の中間部41の両側、つまりその両端部42、42は、マスク板1、3の貫通孔11、31側に露出する。さらに、この素体4は、素体保持シート2の素体保持孔21の中に嵌め込まれた状態で、その動きが完全に規制される。組み立てられたマスク治具を、スパッタリング装置に取り付け、双方のマスク板1、3の貫通孔11、11、31、31を通して、素体4の両端部42、42に両側から金属を被着させる。

請求項（抜粋）：

チップ状の素体(4)の表面の両端部(42)、(42)にスパッタリングにより導体膜を被着させて、外部電極を形成するためのマスク治具であって、所定の位置関係で互いに重ね合わせられる一対のマスク板(1)、(3)と、これらマスク板(1)、(3)の間に挿入される素体保持シート(2)とを有し、前記マスク板(1)、(3)は、それらが重ね合わせられる面の対応する位置に、チップ状の素体(4)の長さより短く、同素体(4)の半周面形状に対応する中間部支持溝(12)、(32)を各々有すると共に、これら中間部支持溝(12)、(32)の両側に貫通孔(11)、(31)を各々有し、素体保持シート(2)は、前記マスク板(1)、(3)の中間部支持溝(12)、(32)と対応する位置に、チップ素体(4)の長さ及び幅より各々僅かに大きな寸法の素体保持孔(21)を有することを特徴とするチップ状回路部品の外部電極形成用マスク治具。

IPC (5件)：

H01G 13/00 351 ,  H01G 13/00 391 ,  C23C 14/04 ,  H01C 17/12 ,  H01F 41/04