特許

J-GLOBAL ID：200903005119638140

狭帯域化パルスレーザ装置

発明者： 中野 真生
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281542
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114627
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】出力パルスレーザ光の狭帯域化を促進し、かつ光学素子等の長寿命化を促進し、もって安定かつ長時間連続パルス発振をも実現する。【解決手段】スイッチ素子のオンを契機として、充電用コンデンサに蓄積された電荷エネルギーを、可飽和リアクトルおよびコンデンサからなる磁気パルス圧縮回路を介して順次磁気パルス圧縮しつつ転送し、最終段のピーキングコンデンサに並列接続されたレーザ放電部LDに供給するパルスレーザ用電源装置40と、レーザ放電部LDの放電励起によって発振したパルスレーザ光を増幅する共振器内の一端部に該パルスレーザ光を狭帯域化する狭帯域化モジュール6を設けるとともに、他端部に該狭帯域化されたレーザ光を出力する出力ミラー5を設けた狭帯域化パルスレーザ装置本体とを備えた狭帯域化パルスレーザ装置1であって、パルスレーザ用電源装置40は、ピーキングコンデンサCPとレーザ放電部LDとの間にパルス伸長部42としてコイルL1を設け、レーザ放電部LDの放電によって流れるパルスエネルギーを時間的に伸長する。

請求項（抜粋）：

充電用直流電源からの電荷エネルギーを充電用コンデンサに蓄積し、この充電用コンデンサに蓄積された電荷エネルギーをスイッチ素子のオンを契機として、可飽和リアクトルおよびコンデンサからなる磁気パルス圧縮回路を介して順次磁気パルス圧縮しつつ転送し、最終段のコンデンサに並列接続されたレーザ放電部に供給するパルスレーザ用電源手段と、前記レーザ放電部の放電励起によって発振したパルスレーザ光を増幅する共振器内の一端部に該パルスレーザ光を狭帯域化する狭帯域化モジュールを設けるとともに、他端部に該狭帯域化されたレーザ光を出力する出力ミラーを設けた狭帯域化パルスレーザ装置本体とを備えた狭帯域化パルスレーザ装置において、前記パルスレーザ用電源手段は、前記レーザ放電部の放電によって流れるパルスエネルギーを時間的に伸長するパルス伸長手段を具備したことを特徴とする狭帯域化パルスレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/097 ,  H01S 3/105 ,  H02M 9/04

FI (3件)：

H01S 3/097 A ,  H01S 3/105 ,  H02M 9/04 A

Fターム (36件)：

5F071AA06 ,  5F071DD08 ,  5F071EE01 ,  5F071GG03 ,  5F071GG05 ,  5F071HH02 ,  5F071HH07 ,  5F071JJ01 ,  5F071JJ03 ,  5F072AA06 ,  5F072GG03 ,  5F072GG05 ,  5F072HH02 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ01 ,  5F072JJ03 ,  5F072JJ12 ,  5F072KK01 ,  5F072KK03 ,  5F072KK05 ,  5F072KK07 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5H790BA02 ,  5H790BB08 ,  5H790CC01 ,  5H790DD01 ,  5H790DD04 ,  5H790EA01 ,  5H790EA03 ,  5H790EA13 ,  5H790EA18 ,  5H790EB03 ,  5H790EB06 ,  5H790KK00 ,  5H790KK07