特許
J-GLOBAL ID:200903005122757193

反射鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-291413
公開番号(公開出願番号):特開平5-127004
出願日: 1991年11月07日
公開日(公表日): 1993年05月25日
要約:
【要約】【目的】 保護層を有する銀反射鏡の分光反射特性を良好なものとする。【構成】 この反射鏡はガラス基板1上に5〜15nm厚のCr層2、10〜40nm厚のCu層3、100nm 厚のAg層4、69nm厚のAl2 O3 層5、57nm厚のZrO2 層6および20nm厚のSiO2 層7をこの順に積層してなるものである。Cr層2およびCu層3はガラス基板1とAg層4の密着性を強化するための密着強化層として作用する。Ag層4は入射光を反射するための層であり、Al2 O3 層5はこのAg層4の耐久性を向上させるための保護層である。ZrO2 層6は反射特性を良好とするための高屈折率誘電体層であり、この層を設けることによって分光反射特性を向上させることができる。なお、最上層のSiO2 層7は耐摩耗性を向上させるための保護層である。
請求項(抜粋):
基板上に銀層、酸化アルミニウム層および高屈折率誘電体層をこの順に積層してなることを特徴とする反射鏡。
IPC (3件):
G02B 5/08 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭60-195502
  • 特開平4-186302

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