特許

J-GLOBAL ID：200903005123499929

角速度センサ

発明者： 樋口 祐史 ,  大矢 信之 ,  伊藤 岳志
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  株式会社日本自動車部品総合研究所
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-118323
公開番号（公開出願番号）：特開2001-304867
出願日： 2000年04月19日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 特別な回路構成とすることなく、簡単に外力の影響を受けないようにすることのできる新規な角速度センサを提供する。【解決手段】 基板に設けられた可動部1〜4を基板の水平面内で振動させて基板と垂直軸J回りに角速度Ωが発生したときに、可動部1〜4に対して基板の水平面内に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度センサにおいて、4個の可動部1〜4を、基板の水平面内の所定点Kを中心に点対称に配置し、互いの可動部1〜4の全てを、所定点Kを中心とした円の径方向に沿って同一方向に駆動振動させる。それにより、各可動部1〜4に発生するコリオリ力は所定点Kを中心とした円の周方向に沿って同一方向となり、このコリオリ力により各可動部1〜4は所定点K回りの同一方向へ回転振動し、直線的な外力の影響を受けない。

請求項（抜粋）：

基板(104)に設けられた可動部(1〜4)を前記基板の水平面内で駆動振動させて前記基板と垂直軸回りに角速度が発生したときに、前記可動部に対して前記基板の水平面内に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度センサにおいて、前記可動部は、前記基板の水平面内の所定点(K)を中心に点対称に配置された複数個のものよりなり、これら複数個の可動部は、前記所定点を中心とした円の径方向に沿って全てが同一方向に同期して、同一周波数で駆動振動するものであることを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (14件)：

2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105BB07 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA36 ,  4M112EA03