特許
J-GLOBAL ID：200903005124211260
ダイヤモンドの合成方法および合成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-023959
公開番号（公開出願番号）：特開平6-135797
出願日： 1991年01月24日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【目的】 直流(DC)プラズマ法において、炭素源ガスと接触しても陰極が溶融しないようにする。これによって原料ガスのリサイクルを可能としコストダウンを実現する。また、溶融した陰極がダイヤモンド中に不純物として混入することを防止し、ダイヤモンドの高品質化を実現する。【構成】 DCプラズマ法(またはDCプラズマ装置1)において、IVa族あるいはVa族から選ばれるいずれか一の金属あるいはこれらの金属を炭化して得られる炭化金属であって融点が3000°C以上の材料で形成された陰極2を用いる。これらの金属は炭化されると融点が上昇する。したがって、これらの金属あるいは炭化金属で陰極2を形成すると、陰極2が溶融しない。
請求項（抜粋）：
陽極および陰極間の直流アーク放電によって原料ガスを熱プラズマ化し、プラズマジェットとして基板に衝突させて急冷し基板上にダイヤモンドを気相成長させるダイヤモンドの合成方法において、少なくとも前記陰極の放電表面が、金属を炭化して炭化金属としたときの融点が3000°C以上となる金属または融点が3000°C以上の炭化金属で形成された陰極を用いてダイヤモンドの気相合成を行なうことを特徴としたダイヤモンドの合成方法。
IPC (5件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, C30B 25/02
, C30B 25/14
, C01B 31/30
