ジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240066
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043241
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】高純度で組成が化学両論比に制御された低温で焼成できる、特に厚さが数100ないし数μmのジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造。【構成】ジルコニウムアルコキシドとチタンアルコキシドのモル比が1-x:xとなるようにアルコール中で混合、溶解し、還流を行う。この溶液に酢酸鉛をPb:(Zr+Ti)=1:1となるように添加し、還流し、ジルコン酸チタン酸鉛の前駆体を作成し、必要に応じて得られた前駆体溶液に多価アルコール等添加し、アルコールを蒸発、濃縮し、該前駆体溶液で基板を被覆して450°C以下の温度で酸素水蒸気混合気流中で加熱焼成する工程を少なくとも一回以上繰り返し、当該基板上にジルコン酸チタン酸鉛薄膜を多層に積層せしめる。【効果】酢酸根を含むアルコールを蒸発させることにより安定な前駆体溶液を合成できる。また、溶液濃度を調整でき、膜厚を正確に制御できる。

請求項（抜粋）：

酢酸鉛とジルコニウムアルコキシドとチタンアルコキシドをそのモル比が1:1-x:x(ただし1>x>0)となるように混合、反応させ、得られた溶液で基板表面を被覆して酸素水蒸気混合雰囲気中で加熱する工程を少なくとも一回以上繰り返し、当該基板上にジルコン酸チタン酸鉛薄膜を形成せしめることを特徴とするジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製造方法。

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