特許
J-GLOBAL ID：200903005127696419
単結晶製造装置の制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016665
公開番号（公開出願番号）：特開平5-213688
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】単結晶成長を精度よく信頼性高くかつ低コストで行う。【構成】誘導加熱装置3の発振周波数fが検出され、該検出値fに基づき溶融部13と加熱コイル9の結合係数が演算され、予め設定された単結晶棒10の所望形状に応じた結合係数と誘導加熱装置3のプレート電圧Epとの関係および結合係数と誘導コイル貫通方向における接合部分13の移動速度Reとの関係に基づき演算された結合係数に対応する誘導加熱装置3の電圧Epおよび接合部分13の移動速度Reを求め、該求められた電圧Epおよび移動速度Reが得られよう制御する。これにより、所望形状の結晶10が応答性よく自動的に製造される。
請求項（抜粋）：
多結晶棒と種結晶との接合部分を誘導加熱装置の加熱コイル内に貫通させ該貫通方向に前記接合部分を移動させるとともに、前記誘導加熱装置を作動させ前記加熱コイルにより前記接合部分を溶融して所望形状の単結晶棒を製造する単結晶製造装置の制御装置において、前記誘導加熱装置の発振周波数を検出する検出手段と、前記検出手段の検出値に基づき前記接合溶融部分と加熱コイルの結合係数を演算する演算手段と、前記単結晶棒の所望形状に応じて前記結合係数と前記誘導加熱装置の出力との関係および前記結合係数と前記誘導コイル貫通方向における前記接合部分の移動速度との関係を予め設定しておき、これら関係に基づき前記演算された結合係数に対応する前記誘導加熱装置の出力および前記接合部分の移動速度を求め、該求められた出力および移動速度が得られよう制御する制御手段とを具えた単結晶製造装置の制御装置。
IPC (3件)：
C30B 13/30
, C30B 13/20
, H01L 21/208
