特許

J-GLOBAL ID：200903005135254794

半導体装置の製造装置

発明者： 青柳 伸明
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195642
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041371
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】ウェーハスピンエッチャーにおいて、常にウェーハ上の同一箇所をセンサーにより監視することによって、不安定な終点検出信号波形によるエッチング終点の誤判定を防止する。【構成】エッチング終点検出用のセンサーがウェーハチャック11に固定されており、アルミニウムのエッチング終点検出センサーである赤外線のフォトセンサーの投光部7と受光部6が、エッチング処理時のウェーハ3の回転と同期して回転し、エッチング終了検出用センサーからの信号により判定回路9でエッチングの終点を判断する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを固定し回転させる機構部と、この回転機構部上のウェーハ表面に形成された金属薄膜等をエッチングするためのエッチング液を滴下または吹きつける機構部を有する半導体装置の製造装置において、前記回転機構部に固定されてウェーハの回転と同期して回転するエッチング終点検出用のセンサーとこのエッチング終点検出用のセンサーからの電気的信号によりエッチングの終点を判断する回路とを有することを特徴とする半導体装置の製造装置。