特許
J-GLOBAL ID：200903005139692826
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097243
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 被検査体の表面に対するプロ-ブ針の針先の接触圧を常に適切な大きさにすること。【構成】 デ-タ作成部5を電流監視部2aを介してウエハ保持台2に電気的に接続すると共に、制御部6を昇降機構22のレベル検出部22aに電気的に接続する。ウエハ保持台2上に導電板を載置し、ウエハ保持台2の加熱手段をONにしてプロ-ブ針4と導電板とを断続的に接触させ、電流監視部2aよりの検出電流に基づいてプロ-ブ針4の針先レベルの時間的変化を予測したデ-タを作成する。次いでウエハWをウエハ保持台2上に載置し、前期デ-タに基づいて制御部6より昇降機構22に制御信号を与えてプロ-ブ針4の針先レベルを制御する。従って被検査体の表面に対するプロ-ブ針4の針先の接触圧を適切な大きさとすることができる。
請求項（抜粋）：
温度調整された被検査体の電極パッドに、プローブカードに配列された複数のプローブ針を接触させて電気的測定を行うプローブ装置において、プローブ針が前記被検査体の電極パッドとの接触により温度調整されたときの針先の高さ位置を示すデータにもとづいて、プロ-ブカ-ドに対する被検査体の相対的位置を制御して接触させる制御部を設けたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
