特許
J-GLOBAL ID：200903005139865445
ICモールド洗浄用のノズル体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉井 昭栄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276226
公開番号（公開出願番号）：特開平6-126628
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は効果的な洗浄を行い得るICモールド洗浄用のノズル体を提供することを目的とする。【構成】 砥粒を混入した加圧水をICモールドに噴射せしめて該ICモールドを洗浄する洗浄装置に付設するノズル体1であって、内部を一定圧に保持せしめることが可能な本体2内に流通管3を貫挿し、この流通管3の先端にノズル部4を、基端に加圧エア供給部5を設け、該流通管3の本体2内における所定位置に連通孔8を設け、本体2に所定圧の砥粒を混入した加圧水を導入・導出する導入部6及び導出部7を設けて本体2内における該砥粒を混入した加圧水の圧力を一定に保持せしめ、本体2内における一定圧に保持せしめられた該砥粒を混入した加圧水を流通管3の連通孔8を介して流通管3内に吸引導入し得るように構成したしたものである。
請求項（抜粋）：
砥粒を混入した加圧水をICモールドに噴射せしめて該ICモールドを洗浄する洗浄装置に付設するノズル体であって、内部を一定圧に保持せしめることが可能な本体内に流通管を貫挿し、この流通管の先端にノズル部を、基端に加圧エア供給部を設け、該流通管の本体内における所定位置に連通孔を設け、本体に所定圧の砥粒を混入した加圧水を導入・導出する導入部及び導出部を設けて本体内における該砥粒を混入した加圧水の圧力を一定に保持せしめ、本体内における一定圧に保持せしめられた該砥粒を混入した加圧水を流通管の連通孔を介して流通管内に吸引導入し得るように構成したことを特徴とするICモールド洗浄用のノズル体。
引用特許：
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