エキシマランプとその梱包品、およびエキシマランプ用放電容器とその梱包品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十畑勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145012
公開番号（公開出願番号）：特開2003-257376
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：

【要約】【課題】二重管構造のエキシマランプにおいて、内側管と側壁との接合部分にヒビ、クラックを発生させない構造を提供することである。【解決手段】長尺の外側管(2)と内側管(3)が概略同軸的に配置された二重管構造をなし、この外側管(2)の外表面には一方の電極(5)が設けられ内側管(3)の内表面に他方の電極(6)が設けられ、これら外側管(2)と内側管(3)の間に形成された放電空間(7)の中に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入された構造において、前記内側管(3)は、前記外側管(2)に対して傾斜していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

長尺の外側管と内側管が概略同軸的に配置されて二重管構造をなし、この外側管の外表面には一方の電極が設けられ内側管の内表面に他方の電極が設けられ、これら外側管と内側管の間に形成された放電空間の中にエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されたエキシマランプにおいて、前記内側管は、前記外側管に対して傾斜していることを特徴とするエキシマランプ。

引用特許：

出願人引用 (6件)

高出力ビーム発生器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-327819 出願人：アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト
ガラス基板搬送用パレット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-166314 出願人：大日本印刷株式会社
基板用カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-011468 出願人：シャープ株式会社

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