特許

J-GLOBAL ID：200903005143205166

プローブ装置および集積回路検査装置

発明者： 大窪 和生 ,  濱 壮一 ,  藤井 彰 ,  伊藤 昭夫 ,  尾崎 一幸 ,  若菜 伸一 ,  後藤 善朗
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 青木 朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-327011
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251524
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、集積回路の検査に好適なプローブ装置に関し、空間分解能と時間分解能を共に高めた電圧測定を実現することを目的とする。【構成】 少なくとも先端部を導電性材料で形成した微細な探針6と、該探針を一端側に取り付けると共に、試料との間でXYZの各方向に相対的に移動可能な移動体2に他端側を固定したカンチレバー5と、電気光学効果を誘起する所定の結晶体1と、該結晶体と前記探針の先端部との間を低電気抵抗で接続する接続手段4,7と、前記移動体の前記試料に対する相対的な近接によりカンチレバーに生じる変位を検出する変位検出手段P1,P2 と、該検出された変位に基づき決定された前記試料上の測定点に前記探針を接触させた時に前記結晶体に誘起される電気光学効果を利用して該測定点の電圧を測定する電圧測定手段P3,P4 と、を具備するように構成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも先端部を導電性材料で形成した微細な探針と、該探針を一端側に取り付けると共に、試料との間でXYZの各方向に相対的に移動可能な移動体に他端側を固定したカンチレバーと、前記移動体を前記試料に対して相対的に移動させる手段と、電気光学効果を誘起する所定の結晶体と、該結晶体と前記探針の先端部との間を低電気抵抗で接続する接続手段と、前記探針の前記試料に対する相対的な近接により前記カンチレバーに生じる変位を検出する変位検出手段と、該検出された変位に基づき決定された前記試料上の測定点に前記探針を接触させた時に前記結晶体に誘起される電気光学効果を利用して該測定点の電圧を測定する電圧測定手段と、を具備することを特徴とするプローブ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26