特許

J-GLOBAL ID：200903005143561817

ステンレス鋼及びその製造方法並びに減圧装置

発明者： 大見 忠弘 ,  梅田 優
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  三菱商事株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-101616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298734
出願日： 1988年01月13日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、内面からの放出ガスによる不純物を減少させ、さらに、優れた耐腐食性を有する超真空、超高清浄なステンレス鋼及びその製造方法並びに減圧装置を提供することを目的とする。さらに、本発明は、上記目的に加え、セルフクリーニング、セルフメインテナンスが可能なステンレス鋼及びその製造方法並びに減圧装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係るステンレス鋼及びその製造方法並びに減圧装置は、鉄酸化物よりクロム酸化物が多い層を外側表面に有する不動態膜が電解研磨面上に形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも、クロムの酸化物と鉄の酸化物とをの混合酸化物を主成分とする層からなる不動態膜が電解研磨面上に形成されており、前記不動態膜の形成されたステンレス鋼の電解研磨面が、半径5μmの円周内における凸部と凹部との高さの差の最大値が1μm以下の平坦度を有していることを特徴とするステンレス鋼。

IPC (6件)：

C23C 8/14 ,  B01J 3/00 ,  C23C 16/50 ,  C25F 3/24 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (6件)：

C23C 8/14 ,  B01J 3/00 K ,  C23C 16/50 ,  C25F 3/24 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B