特許
J-GLOBAL ID：200903005145159315
ダイヤモンド単結晶膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098986
公開番号（公開出願番号）：特開平6-271398
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：
【要約】【目的】 連続したダイヤモンド単結晶膜を簡便に形成する方法を提供することにある。【構成】 微細な傷を無数に付けた単結晶基板上にニッケル単結晶膜又はニッケル含有合金単結晶膜を成膜した後、該膜上に化学気相法によりダイヤモンド単結晶膜を形成させる。
請求項（抜粋）：
微細な傷を無数に付けた単結晶基板上にニッケル単結晶膜又はニッケル含有合金単結晶膜を成膜した後、該膜上に化学気相法によりダイヤモンド単結晶膜を形成することを特徴とするダイヤモンド単結晶膜の形成方法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, H01L 21/205
