特許
J-GLOBAL ID:200903005155225286

セラミック酸素センサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-207093
公開番号(公開出願番号):特開平7-043339
出願日: 1993年07月29日
公開日(公表日): 1995年02月14日
要約:
【要約】【目的】 消費電力低減を可能としたセラミック酸素センサの製造方法を提供する。【構成】 セラミック酸素センサチップ1をリード配線21〜24が形成されたプレート2に搭載し、酸素センサチップ1部にカーボンペースト3を塗布して乾燥させ、酸素センサチップ1部に重ねて結晶化ガラス/セラミック粉混合ペースト4を塗布した後、カーボンペースト3が分解ガス化する温度で焼成して、センサチップ1との間に空間5が形成された状態の耐熱保護層6を形成する。
請求項(抜粋):
セラミック酸素センサチップをリード配線が形成されたプレートに搭載する工程と、前記セラミック酸素センサチップ部に高温で分解ガス化する材料を分散させたペーストを塗布して乾燥させる工程と、前記セラミック酸素センサチップ部に重ねて結晶化ガラスとセラミック粉を分散させたペーストを塗布した後、前記材料がガス化する温度で焼成する工程とを備えたことを特徴とするセラミック酸素センサの製造方法。
FI (2件):
G01N 27/46 325 J ,  G01N 27/46 325 D

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