特許

J-GLOBAL ID：200903005155253174

プローブ分析顕微鏡

発明者： 柳沢 雄太郎
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117198
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313547
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 被測定対象の特性分布として、1次元、2次元または3次元の特性分布のいずれをも高速に計測することができるプローブ分析顕微鏡を提供する。【構成】 このプローブ分析顕微鏡は、試料溶液Mの液滴を導入する開口部25aを有するイオン化部25と、開口部25aに先端部22aを挿通させるプローブ22と、試料溶液Mに対してプローブ22の先端部22aを3次元的に移動させる第1の移動手段23a,23bと、開口部25aに対してプローブ22の先端部22aを変位させる第2の移動手段14a,14bと、プローブ22に付着した試料溶液Mの液滴から試料のイオンをイオン化部11に放出させるイオン放出手段27と、イオン化部11から入射した試料のイオンを分析するイオン分析部とを備える。ここで、プローブ22の先端部22bは、開口部25aの口径よりも大きなサイズ形状を有し、第2の移動手段14a,14bによって開口部25aに挿通して配置された際に開口部25aを封止する。

請求項（抜粋）：

試料溶液に含まれた試料のイオンを気中または真空中に放出することにより、当該試料のイオンを分析するプローブ分析顕微鏡において、前記試料溶液に接触して当該試料溶液の液滴を導入する開口部を有するイオン化部と、このイオン化部に近接して設置されて当該イオン化部の開口部に少なくとも先端部を挿通させるプローブと、前記試料溶液に対して前記プローブの少なくとも先端部を3次元的に移動させる第1の移動手段と、前記イオン化部の開口部に対して前記プローブの少なくとも先端部を変位させる第2の移動手段と、前記プローブに付着した前記試料溶液の液滴から前記試料のイオンを前記イオン化部に放出させるイオン放出手段と、前記イオン化部と連通して形成され、当該イオン化部から入射した前記試料のイオンを分析するイオン分析部とを備え、前記プローブの先端部は、前記イオン化部の開口部の口径よりも大きなサイズ形状を有し、前記第2の移動手段によって前記イオン化部の開口部に挿通して配置された際に当該開口部を封止することを特徴とするプローブ分析顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/04 ,  H01J 49/10

FI (5件)：

G01N 37/00 H ,  G01N 27/62 G ,  G01N 27/62 K ,  H01J 49/04 ,  H01J 49/10