特許

J-GLOBAL ID：200903005161560232

放射線検出素子の製造方法

発明者： 正 義彦 ,  元塚 紀子 ,  田中 明和
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044811
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243599
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 テルル化カドミウム単結晶インゴットから製造される放射線検出素子の放射線検出特性や均一性を向上させ、製品歩留りのよい放射線検出素子の製造方法を提供する。【構成】 テルル化カドミウム単結晶の結晶成長後にウエハー状に加工された単結晶を真空排気された容器中で熱処理する。

請求項（抜粋）：

テルル化カドミウム放射線検出素子の製造において、テルル化カドミウム単結晶の結晶成長後ウエハー状に加工された単結晶を真空排気された容器中で熱処理することを特徴とする放射線検出素子の製造方法。