特許
J-GLOBAL ID：200903005163893662
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026564
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 冷却効率が低下せずに試料台に温度勾配が生じない静電チャック。【解決手段】 静電チャック10は導電体からなる試料台11とその下側の冷却体と試料台1の表面を覆う絶縁膜とで構成されている。冷媒は、静電チャック底部の導入口から導入され、冷却体を構成する流路形成層内を順に上方向に通流して流入孔13a,13a...から冷却室12a内へ流れ込む。試料台11に接触した冷媒は最も近い流出孔から冷却室外へ流出し、冷却室内に長く留まらないので、試料台11の冷却効率が向上する。
請求項（抜粋）：
試料を吸着保持する試料台を冷却すべく、該試料台に連設された冷却体内に導入された冷媒が、前記冷却体内に形成された流路を通流した後、排出される静電チャックにおいて、前記冷却体は前記試料台の一面に臨む冷却室を備え、該冷却室の前記試料台に対向する面に、前記流路に連なる複数の流入孔と少なくとも1つの流出孔とを形成してあることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
