特許
J-GLOBAL ID：200903005170772412
光学式加速度計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-245165
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083894
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 構成素子としてマイケルソン干渉計を採用して小型、軽量、温度特性良好、そして高精度な光学式加速度計を提供する。【解決手段】 光源11を具備し、光源11から出射される光を受光する光導波路113より成る入出力ポート3と入出力ポート3が分岐したカプラ部14と、カプラ部14に連続して形成される光導波路38より成る第1のポート1と、カプラ部14に連続して形成される光導波路38より成る第2のポート2とを形成した光学材料基板131より成る加速度センサ素子13を具備し、第1のポート1および第2のポート2の端面における反射光の干渉光を受光してこれを電気信号に変換する受光器17を具備する光学式加速度計。
請求項（抜粋）：
光源を具備し、光源から出射される光を受光する光導波路より成る入出力ポートと、入出力ポートが分岐したカプラ部と、カプラ部に連続して形成される光導波路より成る第1のポートと、カプラ部に連続して形成される光導波路より成る第2のポートとを形成した光学材料基板より成る加速度センサ素子を具備し、第1のポートおよび第2のポートの端面における反射光の干渉光を受光してこれを電気信号に変換する受光器を具備することを特徴とする光学式加速度計。
IPC (3件)：
G01P 15/03
, G01B 9/02
, G01J 9/02
G01P 15/03 C
, G01B 9/02
, G01J 9/02
