特許
J-GLOBAL ID：200903005175205508
検出器およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (6件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-103176
公開番号（公開出願番号）：特開2008-261670
出願日： 2007年04月10日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】接続信頼性が高く、排気ガス中の成分や熱による機械的振動の影響を受けにくい耐久性の高い検出器を提供する。【解決手段】ガス検出部11と電極パッド部12とが設けられた半導体素子10を内部空間23に収納し、電極パッド部12と配線層31〜34との間に介在導電性接続材40を備え、半導体素子10の半導体材料と、外囲器20の構成材料と、導電性接続材40の主材料の線膨脹係数が近似するように設定した。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
同じ主面に、接触するガス成分に応じて電気信号を生成するガス検出部と、前記電気信号を外部に出力する電極パッド部とが設けられたセンサ素子と、
パッケージ内部空間に前記センサ素子を収納し、内側に、前記電極パッド部に対向するように配線層が配置され、前記ガス検出部と対応する位置にガス導入孔が形成された外囲器と、
前記電極パッド部と前記配線層との間に介在された導電性接続材と、
前記ガス導入孔の形成領域を取り囲むように、前記ガス導入孔の形成領域の周辺部と、前記半導体素子の前記主面と、の間の隙間を気密に前記半導体素子と前記パッケージとが接続させる接続材と、
を具備することを特徴とする検出器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2G046AA03
, 2G046AA07
, 2G046AA13
, 2G046BA02
, 2G046BB04
, 2G046BF05
