特許
J-GLOBAL ID：200903005187942737
ピックアップ装置及びピックアップ方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-289458
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108193
出願日： 2004年10月01日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】チップ部品の微細化に伴い搬送処理数が増加したため、処理時間を短縮して高速化が求められるようになった。このため、不要な処理や、無駄な動作を排除して高速化に対応したピックアップ装置を提供する。【解決手段】外周縁部に吸着ヘッド17が設けられ、垂直方向に揺動して、チップ部品集合体5からチップ部品6をピックアップすると共に、間欠回転しチップ部品6を反転させる回転面板14を有するピックアップ反転機構2と、チップ部品6の良否を判定する検査装置3と、ピックアップしたチップ部品6を次工程に搬送する搬送手段4とを具備してなり、検査装置3の良否判定の結果、良品のチップ部品6だけをピックアップするものとした。これにより、作業効率が向上し、高速化に対応したピックアップ装置が得られる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
外周縁近傍に吸着ヘッドが設けられ、略水平に位置する回転軸を垂直方向に揺動して、前記吸着ヘッドの下方に搬入されたチップ部品集合体からチップ部品をピックアップするとともに、間欠回転して前記チップ部品を反転させる回転面板を備えたピックアップ反転手段と、前記回転面板の回転軸を垂直方向に揺動させるピックアップ揺動手段と、前記ピックアップ位置の上方に設けられ、反転された前記チップ部品を次工程に搬送する搬送手段と、前記チップ部品の良否を検査し判定する検査手段とを具備したことを特徴とするピックアップ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 E
, H01L21/50 C
5F031CA13
, 5F031FA05
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA21
, 5F031GA23
, 5F031GA47
, 5F031MA33
, 5F031PA02
, 5F031PA30
