特許

J-GLOBAL ID：200903005188462046

露光方法及び装置

発明者： 川島 春名
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-432769
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191381
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】 高透過率を維持することによって結像性能の高いNA0.85以上の液浸型の露光装置及び方法を提供する。【解決手段】 マスクのパターンを被露光体に投影する投影光学系を備え、該投影光学系の最終面及び前記被露光体の表面を液体で浸漬する露光装置において、前記投影光学系と前記被露光体との間に配置された平行平面板を有し、当該平行平面板は、第1の面と、当該第1の面の裏面として前記被露光体に対向する第2の面とを有し、前記第1及び第2の面の両方が液体に浸漬されていることを有することを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

マスクのパターンを被露光体に投影する投影光学系を備え、該投影光学系の最終面及び前記被露光体の表面を液体で浸漬する露光装置において、 前記投影光学系と前記被露光体との間に配置された平行平面板を有し、 当該平行平面板は、第1の面と、当該第1の面の裏面として前記被露光体に対向する第2の面とを有し、前記第1及び第2の面の両方が液体に浸漬されていることを有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F046BA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB19 ,  5F046CB25

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン