特許
J-GLOBAL ID：200903005190994179

ナノインプリント方法及びその装置

発明者：
平井 義彦

平井 義彦 について

, 
佐藤 一也

佐藤 一也 について


出願人/特許権者：
公立大学法人大阪府立大学

公立大学法人大阪府立大学 について

, 
株式会社マルニ

株式会社マルニ について


代理人 (1件)： 河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-238829
公開番号（公開出願番号）：特開2007-050663
出願日： 2005年08月19日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：
【課題】従来のナノプリント装置にあっては、モールド(金型)と被加工物と間のプレス時において、そのプレススピードが、プレス操作になじまず、微細構造が崩れ、精緻な構造が得られなかった。【解決手段】この発明は、プレス時のエアープレス操作に、油圧でのダンパー作用を重畳して、モールドと被加工物とをソフトタッチさせるように、一本のピストンロッドをエアーシリンダー、油圧シリンダーに貫通させ、エアーシリンダーでの動きの途中から油圧シリンダーでのダンパー作用を重畳させたナノプリント方法および装置【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
モールド上のパターンを被加工物上に転写すために、被加工物をモールドで押圧する工程において、空気式プレスシリンダーと油圧シリンダーとに連通された、モールドあるいは被加工物が固定されるピストンロッドを、空気式プレスシリンダーにより加圧移動させる工程と、この加圧移動の途中で油圧シリンダーを起動してピストンロッドに油圧ダンパー作用を重畳させる工程とを有し、モールドと被加工物とをソフトタッチさせるようにしたナノプリント方法
IPC (3件)：
B29C 43/02 ,  B81C 5/00 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
B29C43/02 ,  B81C5/00 ,  H01L21/30 502D
Fターム (23件)：
4F204AA21 ,  4F204AA28 ,  4F204AC05 ,  4F204AD04 ,  4F204AF01 ,  4F204AG03 ,  4F204AG05 ,  4F204AH33 ,  4F204AH73 ,  4F204AR08 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FB11 ,  4F204FE27 ,  4F204FH21 ,  4F204FH27 ,  4F204FQ01 ,  4F204FQ02 ,  4F204FQ03 ,  4F204FQ04 ,  4F204FQ14 ,  4F204FQ15 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 竪型射出成形機の型締装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-035545   出願人：住友重機械工業株式会社
  • 特開平3-124397
  • 特開昭60-232917

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