特許

J-GLOBAL ID：200903005199625206

散乱光と散乱角度分布の測定方法

発明者： 伊沢 孝男 ,  内村 龍二
出願人/特許権者： 昭和光機製造株式会社
代理人 (1件)： 成島 光雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213766
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【目的】 反射光軸近傍の散乱検出能力を向上させる光学素子の散乱光を測定する方法と、同じ装置でその散乱光の散乱角度分布を容易に測定することができる方法の提供を目的とする。【構成】 光学素子からの散乱光を積分球を用いて検出する散乱光の測定方法において、反射光を逃がすための積分球に設けられた穴から漏洩する反射光軸近傍の散乱光を、積分球から離れた反射光軸の延長線上の周囲に配設した散乱光反射用凹面鏡で反射させて積分球側へ戻し、反射光軸近傍の散乱光の検出能力を向上させる。また、光学素子からの散乱光を積分球を用いて検出する装置における積分球または測定サンプルを入射光軸に沿って平行に移動させ、積分球に取り込まれる散乱光の散乱角度を制限した状態で各位置での散乱光を測定することで散乱光の散乱角度分布が得られる。

請求項（抜粋）：

光学素子からの散乱光を積分球を用いて検出する散乱光の測定方法において、反射光を逃がすための積分球に設けられた穴から漏洩する反射光軸近傍の散乱光を、積分球から離れた反射光軸の延長線上の周囲に配設した散乱光反射用凹面鏡で反射させて積分球側へ戻し、反射光軸近傍の散乱光の検出能力を向上させることを特徴とした散乱光の測定方法。