特許

J-GLOBAL ID：200903005202511888

固体撮像素子

発明者： 狭山 征博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144895
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像素子のカラーフィルタを染色法により形成することによる耐光性に劣る点や、顔料系色素により形成することによる分光特性に劣る点を同時に解決し、分光特性を変えずに諸特性を向上する固体撮像素子を提供する。【解決手段】 半導体基板上に形成されたセンサ部1上に平坦化膜2を形成し、平坦化膜2上のセンサ部1上にカラーフィルタを形成する。このとき、イエロー(Y)、シアン(C)は、材質のパターニング・染色といった従来公知の工程を経て得られる染色法による染色系カラーフィルタ3を形成する。特に、耐光性や耐熱性などの特性が劣るマゼンタ(M)は、顔料系カラーフィルタ4として顔料系色素を用いたカラーレジスト法により形成する。これにより、分光特性も大きく変えることなく耐光性や耐熱性などの特性を向上したカラーフィルタを有する固体撮像素子を実現できる。

請求項（抜粋）：

マトリクス状に配列された受光素子上にカラーフィルタを形成してなる固体撮像素子において、前記固体撮像素子の3原色或いはその補色カラーフィルタにおける1色または2色を顔料系カラーフィルタにより形成し、残りを染色系カラーフィルタにより形成することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 9/07

FI (3件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 9/07 D