特許

J-GLOBAL ID：200903005202784850

反射縮小投影光学系

発明者： 末永 豊 ,  石山 敏朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221001
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072393
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】レチクル面とウェハー面とを共に平行に維持すると共に往路の光束と復路の光束との分離を容易にする事を目的とする。【構成】第1部分光学系と第2部分光学系とを有する反射屈折光学系に於いて、前記第1部分光学系は物体面側から順に正屈折力の第1レンズ群G1 ,第1の凹面反射鏡M1 ,弱い屈折力の第2レンズ群G2 を有し物体の一次縮小像を形成し、前記第2部分光学系は第2の凹面反射鏡M2 ,正屈折力の第3レンズ群G3 を有し前記一次縮小像を更に縮小して再結像させる構成としたものである。そして、前記第1部分光学系中及び前記第2部分光学系中に夫々一個の平面反射部材を配置している。

請求項（抜粋）：

第1部分光学系と第2部分光学系とを有する反射屈折光学系に於いて、前記第1部分光学系は物体面側から順に正屈折力の第1レンズ群G1 ,第1の凹面反射鏡M1 ,弱い屈折力の第2レンズ群G2 を有し物体の一次縮小像を形成し、前記第2部分光学系は第2の凹面反射鏡M2 ,正屈折力の第3レンズ群G3 を有し前記一次縮小像を更に縮小して再結像させ、前記第1部分光学系中及び前記第2部分光学系中に夫々一個の平面反射部材を配置する事により物体面と像面とを平行に配置した事を特徴とする反射縮小投影光学系。

IPC (4件)：

G02B 17/08 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027