特許

J-GLOBAL ID：200903005206402854

高反射ミラー

発明者： 辰巳 俊平
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187510
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004919
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 耐久性が高く、高反射率であり、しかも膜総数の少ないAgの高反射ミラーを実現する。【解決手段】 ガラスや樹脂等の基板10上に、第1層としてAl2 O3 膜11、第2層としてAg膜12、第3層としてAl2 O3 膜13、第4層としてTiO2 膜14を有する4層構成の多層膜を積層する。アンダーコートをAl2 O3膜11とすることで基板10に対する密着性を向上させ、第3層のAl2 O3 膜13と第4層のTiO2 膜14からなる2層構成の増反射膜を保護層とすることで、反射特性と耐環境性を強化する。

請求項（抜粋）：

基板側から第1層がAl2 O3 膜、第2層がAg膜、第3層がAl2 O3 膜、第4層がTiO2 膜である4層構成の多層膜を備えることで反射特性および耐久性を向上させたことを特徴とする高反射ミラー。

Fターム (9件)：

2H042DA04 ,  2H042DA08 ,  2H042DA11 ,  2H042DA12 ,  2H042DA15 ,  2H042DA18 ,  2H042DB14 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00