特許
J-GLOBAL ID：200903005209653548
ダイヤモンドの格子欠陥制御方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202838
公開番号（公開出願番号）：特開平6-048892
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンドのグラファイト化を抑制し高濃度の格子欠陥形成が可能なダイヤモンドの格子欠陥制御方法を提供する。【構成】 窒素イオン打ち込みにより、イオン損傷による格子欠陥を導入したCVD法によって形成されたダイヤモンド薄膜1をポンプ4により10-5Torr以下の真空に保ち、エキシマレーザ6から308nmの波長の紫外光7をレンズ8により集光させて紫外線透過窓5を通してダイヤモンド薄膜1に400mJ/shotで、10shots/秒のサイクルで100shots(10秒)照射する。
請求項（抜粋）：
内部に格子欠陥が導入されたダイヤモンドに紫外領域の光を照射することを特徴とするダイヤモンドの格子欠陥制御方法。
IPC (4件)：
C30B 29/04
, B01J 19/12
, C30B 31/20
, C30B 33/00
