特許

J-GLOBAL ID：200903005211023667

3次元形状測定方法

発明者： 冷水 由信 ,  西崎 勝利
出願人/特許権者： 光洋精工株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-109545
公開番号（公開出願番号）：特開平6-323820
出願日： 1993年05月11日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 2つ以上のスリット光を必要とせず、被測定物ステージに対する被測定物の姿勢を変えて3次元形状の測定ができ、しかも被測定物の姿勢を高い精度で変換しなくても正確な測定ができるようにする。【構成】 被測定物ステージ10に対する被測定物11の姿勢を複数の状態に変え、各姿勢状態において、被測定物11の位置を変えながら、テレビカメラ14で光切断線15を撮像して、被測定物11の3次元形状データを求める。被測定物11の1つの面11a に、スリット光13を反射しない3つのマーク18を付けておき、各姿勢状態において、被測定物11の3次元形状データを求める際に、スリット光像の切れ目をマーク18として検出し、3つのマーク18の位置から、そのときの被測定物11の姿勢データを求め、各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の姿勢状態における被測定物11の3次元形状データを合成することにより、被測定物11の3次元形状を求める。

請求項（抜粋）：

被測定物を被測定物ステージに一定の姿勢になるように固定し、しかも被測定物ステージに対する被測定物の姿勢を複数の状態に変え、各姿勢状態において、被測定物ステージを少なくとも移動させて被測定物の位置を変え、各被測定物位置において、被測定物にスリット光源装置からスリット光を照射し、このスリット光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を2次元撮像装置で撮像し、2次元撮像装置の画面座標系における光切断線像の2次元画像データを、変換位置データを用いて、スリット光面を含む測定座標系における光切断線の2次元形状データに変換し、複数の被測定物位置における光切断線の2次元形状データを合成することにより、測定座標系における被測定物の3次元形状データを求め、複数の姿勢状態における被測定物の3次元形状データを合成することにより、測定座標系における被測定物の3次元形状を求める3次元形状測定方法であって、各姿勢状態においてスリット光が照射される被測定物の1つの面に、スリット光を反射しない3つのマークを付けておき、各姿勢状態において、被測定物の3次元形状データを求める際に、スリット光像の切れ目をマークとして検出し、3つのマークの位置から、そのときの被測定物ステージに対する被測定物の姿勢データを求め、各姿勢状態における姿勢データに基づいて、複数の姿勢状態における被測定物の3次元形状データを合成することにより、被測定物の3次元形状を求めることを特徴とする3次元形状測定方法。