空間光変調器とその製法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187098
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188308
出願日： 1985年07月30日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】この発明は、新規な構成の撓むことが出来るはりを持つ空間光変調器及びその製法を提案することを目的とする。【構成】基板に立設された上端解放の筒状支持柱に4つの素子がクローバ状に丁番結合される。該各素子は基板と素子との間に印加される電圧に応じて変形し、もって入力光を変調する。

請求項（抜粋）：

電気アドレス回路をもつ基板と、該基板に立設される支持柱と、該支持柱の上端へ丁番結合された導電性の素子とを備えて成り、該素子はそれと前記基板との間に印加される電圧に応じて変形する構成の空間光変調器。

引用特許：

審査官引用 (2件)

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