特許
J-GLOBAL ID：200903005223084840
反射型ホモジナイザーおよび反射型照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007122
公開番号（公開出願番号）：特開平6-214318
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 極紫外光を光源とする半導体露光装置において、光学素子を反射鏡に置き換えることにより硝子材の損傷と光量の低下をなくし効率の良い均一照明を得る。【構成】 光源11からの光は放物面鏡12、13からなるビーム変換器14により所望の光束に変換される。光束は平面反射鏡15、16により放物面反射鏡アレイの反射型ホモジナイザー17により2次光源を形成する。反射型ホモジナイザー17の焦点面に2次光源アレイを形成した光束は照明レンズ18に入射し、レクチル19を均一に照明する。レクチルの像は結像素子によりウェハー面上に縮小投影される。
請求項１：
光源からの光束を複数に分割し二次光源を形成する照明光学系用ホモジナイザーにおいて二次光源を形成するための光学素子が放物面鏡アレイであることを特徴とする反射型ホモジナイザー。
IPC (6件)：
G03B 27/54
, G02B 5/10
, G02B 17/00
, G02B 27/00
, G03B 27/32
, H01L 21/027
