特許
J-GLOBAL ID:200903005226031879

圧電型力学量センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 八木田 茂 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-189986
公開番号(公開出願番号):特開平9-043270
出願日: 1995年07月26日
公開日(公表日): 1997年02月14日
要約:
【要約】【課題】圧電型力学量センサにおいてセンサ検出精度を低下させることなく外部環境温度の変化の影響を軽減して焦電ノイズを更に軽減できるようにすること。【解決手段】本発明による圧電型力学量センサは低熱伝導性の樹脂スペーサを介して圧電共振体の中心部を金属ケースに固定したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
導電性を有する薄板を挟んで、それぞれ電極を備えた二つの薄板状の圧電素子を、これらの二つの圧電素子の分極方向が力学量印加方向に対して相互に同じ方向になりしかも電気的には並列接続となるようにして薄板の両面に固着して成るバイモルフ構造の共振体を金属ケース内に収納した圧電型力学量センサにおいて、低熱伝導性の樹脂スペーサを介して前記共振体の中心部を前記金属ケースに固定したことを特徴とする圧電型力学量センサ。
IPC (2件):
G01P 15/09 ,  G01L 1/16
FI (2件):
G01P 15/09 ,  G01L 1/16

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