検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-252673
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094533
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】全体的に小型・軽量化可能であり、製造コストも大幅に低減でき、取り扱いも容易な検査装置を提供する。【構成】被検物の表面にレーザー光を照射してその反射光により被検物表面の異常を検出する検査装置において、複数の被検物30を収納するためのカセット111と、各被検物30をカセット111から順次搬出するとともに、検査を終了した被検物30をカセット111の元の場所へ収納する搬送用アーム110と、搬送用アーム110によりカセット111から搬出された被検物30を受けとり、一時的に保持する保持部116と、保持部に保持された被検物30を受けとって異常検出部10に搬送するとともに、検出が終了した後に該被検物30を搬送用アーム110に受け渡すチャック部112と、を有することを特徴とする検査装置。

請求項（抜粋）：

被検物の表面にレーザー光を照射してその反射光により被検物表面の異常を検出する検査装置において、複数の被検物を収納するためのカセットと、各被検物を前記カセットから順次搬出するとともに、検査を終了した被検物を前記カセットの元の場所へ収納する搬送用アームと、前記搬送用アームにより前記カセットから搬出された被検物を受けとり、一時的に保持する保持部と、前記保持部に保持された被検物を受けとって異常検出部に搬送するとともに、検出が終了した後に該被検物を前記搬送用アームに受け渡すチャック部と、を有することを特徴とする検査装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公平6-020922
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-154337 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
特開昭63-031133

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