化学線感応性重合体組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083232
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297508
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【構成】ポリイミド系ポリマと、光反応性を有する不飽和結合、アミノ基またはその4級化塩、および水酸基を含む化合物を必須成分とすることを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【効果】本発明によると、パターン加工時の放置の影響を受けにくいなどの現像性が良好であり、しかも強度、伸度などの機械的特性が良好な被膜を得ることができる感光性ポリイミドコーテイング剤を供給することができる。

請求項（抜粋）：

(a)一般式[1]【化1】(R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数を1〜20の有機基を表す。nは1または2である。)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)光反応性を有する不飽和結合、アミノ基またはその4級化塩、および水酸基を含む化合物[2]を必須成分とすることを特徴とする化学線感応性重合体組成物。

IPC (9件)：

H05K 1/03 , C08L 79/08 LRB , C09D179/08 PLW , G03F 7/027 502 , G03F 7/027 514 , G03F 7/038 504 , H01L 21/027 , H01L 21/312 , H05K 3/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-091752
特開平3-091752

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