ペリクル

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368738
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167327
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】洗浄光による接着剤やシール材の劣化を防ぎ長期にわたりペリクルの機能を維持できるペリクルを提供する。【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル板2を、接着剤4により枠状のペリクルフレーム5の開口部に接着してなるペリクル1において、接着剤4を紫外光照射から遮光するための第1の遮光体3をペリクル板2に備えるとともに、ペリクルフレーム5は石英ガラスからなり、ペリクルフレームのフレーム上表面およびフレーム下表面、および/または、フレーム外周表面およびフレーム内周表面に第2の遮光体を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

合成石英ガラスからなるペリクル板を、接着剤により枠状のペリクルフレームの開口部に接着してなるペリクルにおいて、接着剤を紫外光照射から遮光するための第1の遮光体をペリクル板に備えるとともに、ペリクルフレームは石英ガラスからなり、ペリクルフレームのフレーム上表面およびフレーム下表面に第2の遮光体を有することを特徴とするペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 J , G03F 1/14 K , H01L 21/30 502 P

Fターム (3件)：

2H095BC33 , 2H095BC37 , 2H095BC38

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