特許
J-GLOBAL ID：200903005239577072
流体振動検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340773
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 外部振動によるノイズを除去することにより低流量域での検出精度を高める。【構成】 1対の圧力導入口16a,16bから導かれた検出圧は、連通路17,18を介してそれぞれがクロスして一方の圧力室の片側14a,14bと他方の圧力室の反対側15b,15aへ伝えられる。検出圧が伝えられた両圧力室はその検出圧の差圧に応じて互いに反対方向にダイヤフラム6a,6bが変形し、エレクトレット膜11とこれに対向配設される電極板7a,7bの間に電圧が発生して、両可変容量型圧力検出素子4a,4bから圧力信号として出力する。
請求項（抜粋）：
1対の圧力導入口と、この圧力導入口にそれぞれ片側が接続されるとともに中央をダイヤフラムによりそれぞれ仕切られた1対の圧力室と、一方の圧力室の片側と他方の圧力室の反対側とを接続する連通路と、一方の圧力室の反対側と他方の圧力室の片側とを接続する連通路と、片面に電極が形成されたエレクトレット膜とこれに対向配設される電極板のうちの一方を前記圧力室内のダイヤフラム側に形成し、他方をダイヤフラムに対向する位置に支持・固定して形成した1対の可変容量型圧力検出素子と、を備えたことを特徴とする流体振動検出装置。
IPC (3件)：
G01F 1/20
, G01F 1/00
, G01F 1/32
