特許
J-GLOBAL ID：200903005242476988
搬送系調整用装置およびその調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-264018
公開番号（公開出願番号）：特開2007-080960
出願日： 2005年09月12日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】半導体製造装置のウェハを収納するウェハカセットとウェハカセットにウェハを搬送する搬送手段からなる搬送系において、作業者が目視による官能調整によることなく、ウェハカセットと搬送手段の高さと傾きを調整することができる搬送系調整用装置を得ること。【解決手段】ウェハカセット内にウェハを搬送する搬送アームに保持され、ウェハカセット内に配置される基準ウェハ20と、ウェハの端部を保持するウェハカセットのカセット脚に保持され、基準ウェハ20との間の距離を測定する距離測定部12を備える基準板10と、距離測定部12によって測定された基準板10と基準ウェハ20との間の距離を表示する表示部40と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウェハカセット内にウェハを搬送するウェハ搬送手段に保持され、前記ウェハカセット
内に配置される基準ウェハと、
ウェハの端部を保持する前記ウェハカセットのカセット脚に保持され、前記基準ウェハ
との間の距離を測定する距離測定手段を備える基準板と、
前記距離測定手段によって測定された前記基準板と前記基準ウェハとの間の距離を表示
する表示手段と、
を備えることを特徴とする搬送系調整用装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031JA02
, 5F031JA09
, 5F031JA13
, 5F031JA17
, 5F031JA23
, 5F031JA25
, 5F031JA30
, 5F031JA32
, 5F031JA50
, 5F031JA51
, 5F031PA30
