特許
J-GLOBAL ID：200903005242683789
枚葉式成膜方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114131
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291154
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハの加熱時間を短縮し、反応ガスによる石英窓の汚れを軽減する。【構成】 チャンバ1上面の石英窓6の上部にウェーハ4を加熱するランプ5を設置し、このランプ5と石英窓6間に、ランプ5による加熱を遮断するシャッタ7を開閉可能に設ける。
請求項（抜粋）：
チャンバ(1)内にサセプタ(2)を設置し、このサセプタ(2)の下方に加熱源(3)を設け、この加熱源(3)によりサセプタ(2)上に載置したウェーハ(4)をサセプタ(2)を介し低圧反応ガス雰囲気中で加熱してウェーハ(4)上に成膜する枚葉式成膜方法において、チャンバ(1)内のサセプタ(2)上にウェーハ(4)を移載してから成膜開始前迄,ウェーハ(4)をチャンバ(1)上部のランプ(5)によりチャンバ(1)上面の石英窓(6)を通して加熱し、成膜後はランプ(5)による加熱をシャッタ(7)により遮断するようにしたことを特徴とする枚葉式成膜方法。
IPC (2件)：
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