特許
J-GLOBAL ID：200903005243903863
露光データ作成方法並びに露光方法及び露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296236
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115826
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 オペレータの負担を軽減することができると共に最短あるいはこれに近い露光ルートを短時間で決定する。【解決手段】 オペレータが、例えばショット番号S20のショット領域を最初に露光すべきショット領域として決定し、クラスタ内の各ショット領域を行(又は列)方向に沿ってステップ移動し露光すると決定し、クラスタ間を行方向に沿ってステップ移動すると決定し、これらを例えばキーボードから入力すれば、コンピュータでは、図示のようなショット領域S20をファーストショットとし、各クラスタ内の各ショット領域が行(又は列)方向に沿ってラスタスキャン方式でステップ移動して順次露光され、且つクラスタ間を行方向に沿ってステップ移動し、ファーストショットに隣接するショット領域S12を最終ショットとする露光ルートのデータを作成する。
請求項（抜粋）：
被露光基板上の各ショット領域に同一パターンをステップ・アンド・リピート方式で順次露光し、マトリクス状に配置された複数のショット領域から成る複数のクラスタをマトリクス状配置で形成する露光データの作成方法であって、最初に露光すべきショット領域を決定する第1工程と;前記クラスタ内の各ショット領域を行又は列方向のいずれに沿ってステップ移動し露光するかを決定する第2工程と;前記クラスタ間を行又は列方向のいずれの方向に沿ってステップ移動するかを決定する第3工程と;前記第1工程で決定されたショット領域をファーストショットとし、各クラスタ内の各ショット領域が前記第2工程で決定された行又は列方向に沿ってラスタスキャン方式でステップ移動して順次露光され、且つクラスタ間を前記第3工程で決定された行又は列方向に沿ってステップ移動し、前記ファーストショットと異なるクラスタに属する前記ファーストショットに隣接するショット領域を最終ショットとする露光ルートのデータを作成する第4工程とを含む露光データの作成方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/72
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 514 B
, G03B 27/72 Z
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 514 C
