ウエーハ搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：原謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009878
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198658
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【構成】ウエーハ搬送装置は、ウエーハフォーク7と共に上下移動し、載置溝5aの位置を検出する載置溝位置検出手段と、上記載置溝5aの位置に対応した位置にウエーハフォーク7の位置を設定する制御手段とを有している構成である。【効果】制御手段によってウエーハフォーク7の位置が載置溝5a内に設定されるため、カセット5が機械的ストレス等によって大きな歪みを生じた場合でも、載置溝5aに対しウエーハ6を着脱できる位置にウエーハフォーク7の位置決めができる。

請求項（抜粋）：

ウエーハが装着される載置溝を有するカセットからウエーハを着脱するウエーハフォークを上下移動させてカセットの各載置溝に対するウエーハフォークの位置決めを行なうウエーハ搬送装置において、上記ウエーハフォークと共に上下移動し、載置溝の位置を検出する載置溝位置検出手段と、上記載置溝の位置に対応した位置にウエーハフォークの位置を設定する制御手段とを有していることを特徴とするウエーハ搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65H 1/28 321

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-184841
特開昭62-208619
特開平2-271643

全件表示

前のページに戻る