特許
J-GLOBAL ID：200903005249516802
印字ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-122636
公開番号（公開出願番号）：特開平6-328691
出願日： 1993年05月25日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【目的】 より低電圧で駆動することができかつ小型で高集積可能なインクジェットプリンタの印字ヘッドを提供することである。【構成】 本発明の印字ヘッドは、インクを滴出するためのノズル1に連通しかつSi基材で形成されるインク液室9と、インク液室9内に設けられかつインクに振動を伝達するための振動部材とを備えている。この振動部材はSi基材の表面に形成されたSiO2 薄膜から成形されてなる振動板5と、圧電薄膜4が一対の電極層6a,6bに挟持されてなる振動子11とから構成される。
請求項（抜粋）：
圧電効果を利用してインクを滴出するインクジェットプリンタの印字ヘッドであって、前記インクを滴出するためのノズルに連通し、かつ所定の材料で形成されるインク液室と、前記インク液室内に設けられ、インクに振動を伝達するための振動部材とを備え、前記振動部材は、前記インク液室を形成する前記所定の材料の一部が成形されてなる薄片状の部分と、前記薄片状の部分上に設けられかつ圧電材料からなる薄膜が一対の電極層に挟持されてなる振動子とからなることを特徴とする、印字ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
